Измерения с помощью датчиков, преобразователей, сенсоров
Кремниевый тензорезисторный преобразователь давления

   Кремниевые мембраны для создания преобразователей давления используются достаточно широко, хорошо изучены тензоэффекты в таких мембранах с различными кристаллографическими ориентациями, отработаны технологии работы с ними, создания на них тензорезистивных чувствительных элементов и соединения их в интегральные схемы включения. Применение кремния и современные технологии микроэлектроники позволяют создавать датчики давления миниатюрных размеров для применения в медицине и решения других специальных задач в различных областях науки и техники.
  Рассмотрим один из известных интегральных тензорезистивных преобразователей абсолютного давления описанных в литературе. Он имеет структуру, приведенную на рис.1. Конструкция состоит из стеклянной плоской крышки, в которой вытравлено углубление, и кремниевого кристалла с тонкой мембраной, в которой изготовлено четыре тензорезистора, соединенных в мостовую схему. Мембрана окружена толстым кремниевым кольцевым основанием. Углубление в стеклянной пластинке расположено под мембраной, а сама пластина скреплена с кремниевым кристаллом с помощью анодной посадки. Анодное соединение осуществляется нагреванием стеклянной и кремниевой пластинок до 400 °С с последующей подачей напряжения 600 В на кремний относительно заземленной стеклянной пластинки. Анодная посадка обеспечивает абсолютно герметичное соединение, благодаря чему углубление в стеклянной пластинке вместе с мембраной образуют замкнутую герметичную камеру.
  Внешние размеры преобразователя: 1,5х2,0х0,2 мм. Чувствительность 0,2 мВ/ (кПаВ). Температурный дрейф эквивалентен 250 Па на 1 °С. Выходное напряжение линейно изменяется до давления  40 кПа.



Рис.1. Структура кремниевого интегрального  преобразователя   абсолютного давления:


    Преобразователи, датчики, сенсоры - Информационный портал  © 2011 - 2017                          Использование материалов сайта возможно при размещении активной ссылки 
кремниевый преобразователь давления
·Тензорезисторные измерительные преобразователи силы и давления
·Акселерометры
·Вибропреобразователи, виброметры
·Кремниевый тензорезисторный преобразователь давления
·Интегральный полупроводниковый балочный акселерометр
Главная >>  Преобразователи силы и давления >> Кремниевый тензорезисторный преобразователь давления

русский / english

Преобразователи силы и давления

Электромеханические преобразователи

Акселерометры

Виброметры

Кремниевый преобразователь давления

Полупроводниковый балочный акселерометр

Манометры

Датчик давления Сапфир

Датчик абсолютного давления МИДА

Манометры давления МП2,  ДМ2005

Датчики давления Motorola

Потенциометрические преобразователи перемещения

Емкостные преобразователи перемещения

Индуктивные преобразователи перемещения

Измерения расхода. Расходомеры

Измерение расхода на основе термальных явлений

Термоанемометрический метод определения расхода

Пьезоэлектрические преобразователи

Датчики приближения

Датчики, преобразователи силы

Датчики веса

Магнито индукционный метод измерения расхода

Датчики уровня заполнения. Измерение заполнения

Измерение уровня заполнения жидкости с помощью поплавка
  НОВОСТИ, РЕКЛАМА 
датчики, сенсоры, измерительные преобразователи
1 - кремниевая мембрана; 2 - основание; 3- стеклянная пластина; 4 - герметичная камера


Литература: В.И.Ваганов. Интегральные тензопреобразователи
Датчики, преобразователи. Sensors, transducers
Loading...